P-915KLVS высокой динамикой, вакуумные совместимы, с высокой нагрузкой nanopositioner XYZ пьезо сканер предлагает очень большой световой диаметр 200 х 200 мм.
Особенности и преимущества
- Вакуумные Совместимость с 10-6 гПа
- Прямая метрологии с емкостные датчики
- Отлично прямолинейности: <0,1 мкрад Биение
- Без трения, высокоточные изгиб Guiding System
- Прямая метрологии с емкостные датчики