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Examen y Dimensión de la Película Fina de ThinFilmID de los Instrumentos de Oxford

ThinFilmID para la medición "in-situ" de la composición y el espesor de películas finas hacia abajo a 1nm en SEM.

ThinFilmID utiliza la Espectrometría Dispersiva de la Radiografía de la Energía (EDS) para medir la composición y el espesor de capas en una estructura de la película fina.

Esta técnica tiene una combinación única de las ventajas que ofrecen los beneficios reales a los clientes ambos en términos de velocidad, optimización de métodos y facilidad de empleo.

Ventajas

  • Las mediciones Espacial resueltas - analice una punta específica en una muestra
  • Resolución lateral de la nano-escala Excelente - controlada por el volumen de la acción recíproca y solamente poco cientos nanómetros en el kilovoltio inferior
  • Mida la composición y/o el espesor de las capas
  • Capas de las Dimensiones de <1nm to2000nm="">
  • Mida las estructuras con hasta 7 capas más el substrato con hasta 16 elementos.
  • La herramienta Única de la Solubilidad y de la Simulación para la optimización simple de la colección de datos condiciona
  • técnica no destructiva sin las estructuras seccionadas transversalmente de la necesidad
  • Preparación = tiempo y ahorro en costes Mínimos de la muestra
  • Los Trabajos con SEMs e INCAEnergy existentes, ninguna dotación física única se requieren

Last Update: 31. January 2012 23:56

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