ThinFilmID para la medición "in-situ" de la composición y el espesor de películas finas hacia abajo a 1nm en SEM.
ThinFilmID utiliza la Espectrometría Dispersiva de la Radiografía de la Energía (EDS) para medir la composición y el espesor de capas en una estructura de la película fina.
Esta técnica tiene una combinación única de las ventajas que ofrecen los beneficios reales a los clientes ambos en términos de velocidad, optimización de métodos y facilidad de empleo.
Ventajas
- Las mediciones Espacial resueltas - analice una punta específica en una muestra
- Resolución lateral de la nano-escala Excelente - controlada por el volumen de la acción recíproca y solamente poco cientos nanómetros en el kilovoltio inferior
- Mida la composición y/o el espesor de las capas
- Capas de las Dimensiones de <1nm to2000nm="">
- Mida las estructuras con hasta 7 capas más el substrato con hasta 16 elementos.
- La herramienta Única de la Solubilidad y de la Simulación para la optimización simple de la colección de datos condiciona
- técnica no destructiva sin las estructuras seccionadas transversalmente de la necesidad
- Preparación = tiempo y ahorro en costes Mínimos de la muestra
- Los Trabajos con SEMs e INCAEnergy existentes, ninguna dotación física única se requieren