Inspection et Cote de Film Mince de ThinFilmID d'Instruments d'Oxford

Inspection et Cote de Film Mince de ThinFilmID d'Instruments d'Oxford

ThinFilmID pour la mesure in-situ de composition et de l'épaisseur des films minces vers le bas à 1nm dans le SEM.

ThinFilmID emploie la Spectrométrie Dispersive de Rayon X d'Énergie (EDS) pour mesurer la composition et l'épaisseur des couches dans une structure de film mince.

Cette technique a une combinaison unique d'avantages qui offrent les avantages réels aux abonnées les deux en termes de vitesse, optimisation des méthodes et simplicité d'utilisation.

Avantages

  • Des mesures Dans L'espace résolues - analysez une remarque particulière sur un échantillon
  • Définition transversale d'Excellente nano-échelle - réglée par le volume d'interaction et seulement quelques centaines de nanomètres au kilovolt faible
  • Mesurez la composition et/ou l'épaisseur des couches
  • Couches de Mesures de <1nm to2000nm="">
  • Mesurez les structures avec jusqu'à 7 couches plus le substrat avec jusqu'à 16 éléments.
  • Seul outil de Solubilité et de Simulation pour l'optimisation simple des états de collecte des informations
  • technique non destructive sans les structures en coupe du besoin
  • L'épargne Minimale de préparation des échantillons = de temps et coût
  • Des Travaux avec des SEM et INCAEnergy existants, aucun seul matériel est exigés

Last Update: 31. January 2012 23:51

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