옥스포드 계기 ThinFilmID 박막 검사와 차원

구성의 제자리 측정 및 아래로 박막의 간격을 위한 ThinFilmID SEM에 있는 1nm에.

ThinFilmID는 에너지 흩어진 엑스레이 박막 구조물에 있는 층의 구성 그리고 간격을 측정하기 위하여 분광분석 (EDS)를 이용합니다.

이 기술에는 방법의 속도, 최적화 및 사용 용이 식으로 고객에게 실제 이득을 둘 다 제안하는 이점의 유일한 조합이 있습니다.

이득

  • 공간에 해결한 측정 - 견본에 특정 점을 분석하십시오
  • 낮은 kV에 상호 작용 양 및 단지 수백 nm로 통제되는 우수한 nano 가늠자 옆 해결책 -
  • 층의 구성 및 또는 간격을 측정하십시오
  • 측정 층에서 <1nm to2000nm="">
  • 16까지 성분을 가진 기질 플러스 7개의 까지 층을 가진 구조물을 측정하십시오.
  • 정보 수집의 간단한 최적화를 위한 유일한 해결 가능성과 시뮬레이션 공구는 조절합니다
  • 필요 횡단면적인 구조물 없이 비파괴적인 기술
  • 최소 견본 준비 = 시간 및 경비 절약
  • 존재 SEMs 및 INCAEnergy로 작동은, 유일한 기계설비 요구됩니다

Last Update: 31. January 2012 23:54

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