Осмотр и Размер Тонкого Фильма ThinFilmID Аппаратур Оксфорда

Осмотр и Размер Тонкого Фильма ThinFilmID Аппаратур Оксфорда

ThinFilmID для в-situ измерении состава и толщине тонких фильмов вниз к 1nm в SEM.

ThinFilmID использует Спектрометрирование Рентгеновского Снимка Энергии Дисперсивное (EDS) для того чтобы измерить состав и толщину слоев в структуре тонкого фильма.

Этот метод имеет преимущества уникально сочетание из которые предлагают реальные преимущества к клиентам оба оперируя понятиями скорости, оптимизирования методов и легкия в использовании.

Преимущества

  • Пространственно разрешенные измерения - проанализируйте специфический пункт на образце
  • Разрешение Превосходного nano-маштаба боковое - контролируемое томом взаимодействия и только немного 100 nm на низком kV
  • Измерьте состав и/или толщину слоев
  • Слои Измерений от <1nm to2000nm="">
  • Измерьте структуры с до 7 слоями плюс субстрат с до 16 элементами.
  • Уникально инструмент Разрешимости и Имитации для простого оптимизирования условий сбора данных
  • метод без разрушения без структур профиля потребности
  • Минимальные стоимости сбережений подготовки = времени и образца
  • Необходимы Работы с существуя SEMs и INCAEnergy, никакое уникально оборудование

Last Update: 31. January 2012 23:56

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier