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MERLIN-Bereich-Emissions-Rasterelektronenmikroskop (FE-SEM) von Carl Zeiss

Das MERLIN FE-SEM gleicht den Konflikt zwischen Bildauflösung und analytischer Fähigkeit aus. Der Kern von MERLIN ist die erhöhte Spalte der ZWILLINGE II, die, mit seiner doppelten Kondensatoranlage, eine Bildauflösung von 0,8 nm erzielt. Ein Beispielstrom von bis 300 nanoamperes ist- für analytische Zwecke wie Energie und Wellenlänge dispersive Röntgenstrahlspektroskopie (EDS und WDS), Beugungsanalyse von umgekehrten Elektronen (EBSD) oder die Generation von Cathodoluminescence erhältlich.

Die Anlage unterstützt den Benutzer mit einer großen Auswahl von ausführlichen Lösungen für Aufgaben, die nicht ausreichend in der Vergangenheit durchgeführt werden konnten. Der Grundstein für diese Leistung ist von Carl Zeiss „Komplettes Erfassungssystem“ gelegt worden. Dieses besteht dem Inobjektiv SE-Detektor für Oberflächendarstellung, dem Inobjektiv EsB-Detektor für materiellen Kontrast und aus dem AsB-Detektor für breit zerstreute umgekehrte Elektronen. Die letzteren enthalten spezifische Informationen über die Kristallrichtung der Probe.

Die eindeutige Ladungsausgleichsanlage von MERLIN erlaubt auch die hochauflösende Darstellung von nicht leitfähigen Proben. Elektronen, die auf der Oberfläche der Probe akkumulieren, werden weg durch einen feinen Jet des Stickstoffes gefegt. Auf diese Art kann das komplette Erfassungssystem von MERLIN verwendet werden. Ein zusätzliches Merkmal der Anlage für Ladungsausgleich ist ein Kanal für reinen Sauerstoff, in-situbeispielreinigung aktivierend. Innerhalb der auftretenden Verbrennungsrückstände der Unterdruckkammer häufig werden von der Beispieloberfläche gelöscht und so produzieren ein beträchtlich klareres und contrasty Bild. Beide Optionen erlauben dem Benutzer, sich auf die Darstellung und die Analyse der Probe zu konzentrieren, anstatt, Zeit und Geld in der Probenaufbereitung zu investieren.

MERLIN neue elektronische Anlage ermöglicht eine flexible Instrumentkonfiguration. Zusätzliche Detektoren können schnell nachgerüstet werden und dem Benutzer erlauben, die Anlage wachsenden Anforderungen anzupassen. Darüber hinaus macht diese Flexibilität die Investition zukunftssicher und aktiviert den Benutzer, von laufender Detektorentwicklung auf lange Sicht zu profitieren.

Last Update: 12. October 2012 10:46

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