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Microscopio Electrónico De Exploración de la Emisión de Campo de MERLIN (FE-SEM) de Carl Zeiss

El MERLIN FE-SEM vence el conflicto entre la resolución de imagen y la capacidad analítica. La base de MERLIN es la olumna aumentada de los GÉMINIS II que, con su sistema doble del condensador, logra una resolución de imagen de 0,8 nanómetros. Una corriente de la muestra de hasta 300 nanoamperes está disponible para los propósitos analíticos tales como energía y espectroscopia de Radiografía dispersiva de la longitud de onda (EDS y WDS), análisis de la difracción de los electrones retrorreflejados (EBSD) o la generación de catodoluminiscencia.

El sistema apoya al utilizador con una amplia gama de soluciones detalladas para las tareas que no se podrían realizar adecuadamente en el pasado. El asiento para este logro ha sido descansado por Carl Zeiss “Sistema de Detección Completo”. Esto consiste en el detector del SE del en-lente para la proyección de imagen superficial, el detector del EsB del en-lente para el contraste material y el detector de AsB para los electrones retrorreflejados extensamente dispersos. Estes último contienen la información específica sobre la orientación cristalina de la muestra.

El sistema único de la remuneración de la carga de MERLIN también permite la proyección de imagen de alta resolución de muestras no-conductoras. Los Electrones que acumulan en la superficie de la muestra son barridos por una tobera fina del nitrógeno. De este modo, el sistema de detección completo de MERLIN puede ser utilizado. Una característica adicional del sistema para la remuneración de la carga es un canal para el oxígeno puro activando la limpieza "in-situ" de la muestra. Dentro de los depósitos de carbón con frecuencia de ocurrencia del compartimiento de vacío se quitan de la superficie de la muestra, así produciendo una imagen importante más quebradiza y contrasty. Ambas opciones permiten que el utilizador concentren en la proyección de imagen y el análisis de la muestra en vez de invertir tiempo y el dinero en la preparación de la muestra.

El nuevo sistema electrónico de MERLIN permiso una configuración flexible del instrumento. Los detectores Adicionales se pueden adaptar rápidamente, permitiendo que el utilizador adapte el sistema a los requisitos cada vez mayor. Además, esta adaptabilidad hace la inversión más futuro-prueba y permite al utilizador beneficiarse en el largo plazo del revelado en curso del detector.

Last Update: 12. October 2012 10:47

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