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Microscópio de Elétron da Exploração da Emissão de Campo de MERLIN (FE-SEM) de Carl Zeiss

O MERLIN FE-SEM supera o conflito entre a definição de imagem e a capacidade analítica. O núcleo de MERLIN é a coluna aumentada dos GÊMEOS II que, com seu sistema dobro do condensador, consegue uma definição de imagem de 0,8 nanômetros. Uma corrente da amostra de até 300 nanoamperes está disponível para finalidades analíticas tais como a energia e a espectroscopia de Raio X dispersiva do comprimento de onda (EDS e WDS), a análise da difracção dos elétrons backscattered (EBSD) ou a geração de cathodoluminescence.

Os sistemas de apoio o usuário com uma vasta gama de soluções detalhadas para as tarefas que não poderiam adequadamente ser executadas no passado. A fundação para esta realização foi colocada por Carl Zeiss “Sistema de Detecção Completo”. Isto consiste no detector do SE da em-lente para a imagem lactente de superfície, no detector do EsB da em-lente para o contraste material e no detector de AsB para elétrons backscattered extensamente dispersados. Os últimos contêm a informação específica na orientação de cristal da amostra.

O sistema original da compensação da carga de MERLIN igualmente permite a imagem lactente de alta resolução de amostras não-condutoras. Os Elétrons que acumulam na superfície da amostra são varridos afastado por um jato fino do nitrogênio. Em fazê-lo, o sistema de detecção completo de MERLIN pode ser usado. Uma característica adicional do sistema para a compensação da carga é um canal para o oxigênio puro permitindo a limpeza in situ da amostra. Dentro dos depósitos de carbono freqüentemente de ocorrência da câmara de vácuo são removidos da superfície da amostra, assim produzindo uma imagem significativamente mais torrada e contrasty. Ambas As opções permitem que o usuário concentrem-se na imagem lactente e na análise da amostra em vez de investir o tempo e o dinheiro na preparação da amostra.

O sistema eletrônico novo de MERLIN permite uma configuração flexível do instrumento. Os detectores Adicionais podem ser adaptados rapidamente, permitindo que o usuário adapte o sistema às exigências crescentes. Além, esta flexibilidade faz ao investimento mais futuro-prova e permite o usuário de tirar proveito a longo prazo de revelação em curso do detector.

Last Update: 12. October 2012 10:47

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