Während des allerersten Males in Geschichte ALD (AtomSchicht-Absetzung), ist Rolle-zurolle lebensfähig und zugänglich für Forschung und industrielle Industrieproduktion gemacht worden. Das WCS 500 bietet wahrer Rolle-zurolle ALD auf flexiblen Selennetzen bis 500 mm in der Breite an.
Das Beneq WCS 500 ist als Entwicklungsplattform konstruiert worden, der Mittelwerte es den unterschiedlichen R&D-Bedarf von verschiedenen Abnehmern ansprechen können. Als Beispiel kann das WCS 500 viele Baumuster Substratflächenmaterialien und -stärken handhaben. Mit einer Beschichtungskapazität von 400.000 m2/year, erweitert das WCS 500 leicht von R&D, um Produktion für viele industriellen Anwendungen, einschließlich Feuchtigkeitssperren für flexible organische Elektronik- und Bufferschichten für Solarzellen der CIGS zu steuern.
Leistungshöhepunkte:
- wahrer Rolle-zurolle ALD Prozess
- maximale Selennetzbreite 500 mm
- berührungsfreies Selennetzhandhaben
- Kapazität 400.000 m2/year (für spezifische Anwendung)
Anlagenhauptbauteile
- Unterdruckkammer mit Selennetzbandspulen, Trommel- und ALD-Beschichtungskopf aufbereitend
- Beneq-Vorläufer-Liefersystem (PDS)
- Elektrischer und Schaltschrank
- Vorläuferabschaltungsanlage
- Vakuumpumpe