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Sistema de Capa de Web para la Lista-a-Lista ALD - WCS 500 de Beneq Oy

Por el primer tiempo en historia de ALD (Deposición Atómica de la Capa), la lista-a-lista se ha hecho viable y accesible para la investigación y la producción industrial. El WCS 500 ofrece a lista-a-lista verdadera ALD en Web flexibles hasta 500 milímetros en ancho.

El Beneq WCS 500 se ha diseñado como plataforma del revelado, que los medios él pueden dirigir las diversas necesidades del R&D de diversos clientes. Como un ejemplo, el WCS 500 puede manejar muchos tipos de materiales y de espesores del substrato. Con una capacidad de la capa de 400.000 m2/year, el WCS 500 se despliega fácilmente del R&D para pilotar la producción para muchas aplicaciones industriales, incluyendo las barreras de la humedad para las capas orgánicas flexibles de la electrónica y del almacenador intermediaro para las células solares de los CIGS.

Puntos culminantes del Funcionamiento:

  • proceso verdadero de la lista-a-lista ALD
  • ancho máximo del Web 500 milímetros
  • manipulación sin impacto del Web
  • capacidad 400.000 m2/year (para la aplicación específica)

Componentes principales del Sistema

  • Compartimiento de Vacío con los devanar del Web, tramitando la carga del cilindro y de la capa de ALD
  • Sistema de Envío del Precursor de Beneq (PDS)
  • Cabina Eléctrica y de mando
  • Sistema de la desactivación del Precursor
  • Bomba de Vacío

Last Update: 11. January 2012 04:53

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