Procédé de Protection de Web pour le Rouleau-à-Rouleau ALD - WCS 500 de Beneq Oy

Pendant la toute première fois dans l'histoire d'ALD (Dépôt Atomique de Couche), le rouleau-à-rouleau a été rendu viable et accessible pour la recherche et la production industrielle. Le WCS 500 offre au rouleau-à-rouleau vrai ALD sur des Web flexibles jusqu'à 500 millimètres de largeur.

Le Beneq WCS 500 a été conçu comme plate-forme de développement, que les moyens il peuvent satisfaire les différents besoins de R&D de différentes abonnées. Comme exemple, le WCS 500 peut traiter beaucoup de types des matériaux et d'épaisseurs de substrat. D'une capacité de couche de 400.000 m2/year, le WCS 500 augmente facilement de la R&D pour piloter la production pour beaucoup d'applications industrielles, y compris des barrages d'humidité pour des couches organiques flexibles de l'électronique et de tampon pour les piles solaires de CLOPES.

Points culminants de Performance :

  • véritable procédé du rouleau-à-rouleau ALD
  • largeur maximum de Web 500 millimètres
  • traiter de non contact de Web
  • capacité 400.000 m2/year (pour l'application particulière)

Composantes principales de Système

  • Puits à dépression Avec des bobines de Web, traitant la tête de tambour et de couche d'ALD
  • Système de Distribution de Précurseur de Beneq (PDS)
  • Module Électrique et de contrôle
  • Système de mise hors fonction de Précurseur
  • Pompe à vide

Last Update: 11. January 2012 04:39

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