Per il primissimo tempo in cronologia di ALD (Deposito Atomico del Livello), il rotolo--rotolo è stato reso possibile ed accessibile per la ricerca e la produzione industriale. Il WCS 500 offre arotolo--rotolo vero ALD sui Web flessibili fino a 500 millimetri di larghezza.
Il Beneq WCS 500 è stato progettato come piattaforma dello sviluppo, che i mezzi possono rispondere ai bisogni differenti di R & S dei clienti differenti. Come esempio, il WCS 500 può trattare molti tipi di materiali e di spessori del substrato. Con una capacità del rivestimento di 400.000 m2/year, il WCS 500 si espande facilmente da R & S per pilotare la produzione per molte applicazioni industriali, compreso le barriere dell'umidità per i livelli organici flessibili del buffer e di elettronica per le pile solari di CIGS.
Punti culminanti di Prestazione:
- vero trattamento del rotolo--rotolo ALD
- larghezza massima di Web 500 millimetri
- manipolazione di non contatto di Web
- capacità 400.000 m2/year (per l'applicazione specifica)
Componenti principali di Sistema
- Camera di Vuoto con le bobine di Web, la sviluppatrice a tamburo e la testa del rivestimento di ALD
- Delivery System del Precursore di Beneq (PDS)
- Gabinetto di controllo ed Elettrico
- Sistema di disattivazione del Precursore
- Pulsometro