Sistema di Rivestimento di Web per Rotolo--Rotolo ALD - WCS 500 da Beneq Oy

Per il primissimo tempo in cronologia di ALD (Deposito Atomico del Livello), il rotolo--rotolo è stato reso possibile ed accessibile per la ricerca e la produzione industriale. Il WCS 500 offre arotolo--rotolo vero ALD sui Web flessibili fino a 500 millimetri di larghezza.

Il Beneq WCS 500 è stato progettato come piattaforma dello sviluppo, che i mezzi possono rispondere ai bisogni differenti di R & S dei clienti differenti. Come esempio, il WCS 500 può trattare molti tipi di materiali e di spessori del substrato. Con una capacità del rivestimento di 400.000 m2/year, il WCS 500 si espande facilmente da R & S per pilotare la produzione per molte applicazioni industriali, compreso le barriere dell'umidità per i livelli organici flessibili del buffer e di elettronica per le pile solari di CIGS.

Punti culminanti di Prestazione:

  • vero trattamento del rotolo--rotolo ALD
  • larghezza massima di Web 500 millimetri
  • manipolazione di non contatto di Web
  • capacità 400.000 m2/year (per l'applicazione specifica)

Componenti principali di Sistema

  • Camera di Vuoto con le bobine di Web, la sviluppatrice a tamburo e la testa del rivestimento di ALD
  • Delivery System del Precursore di Beneq (PDS)
  • Gabinetto di controllo ed Elettrico
  • Sistema di disattivazione del Precursore
  • Pulsometro

Last Update: 11. January 2012 04:42

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