ロールにロール ALD - Beneq Oy からの WCS 500 のためのウェブ被覆システム

ALD (原子層の沈殿) の歴史の一番最初のために、ロールにロールは研究および工業生産のために実行可能そしてアクセス可能になされました。 WCS 500 は適用範囲が広い網の本当ロールにロール ALD に幅 500 までの mm を提供します。

Beneq WCS 500 は平均がそれ異なった顧客の異なった R & D の必要性に対応できる開発のプラットホームとして設計されていました。 一例として、 WCS 500 は多くのタイプの基板の材料および厚さを扱うことができます。 400,000 m2/year のコーティング容量によって CIGS の太陽電池の適用範囲が広い有機性電子工学およびバッファ層のための湿気の障壁を含む多くの産業アプリケーションのための生産を、実践するために、 WCS 500 は R & D から容易に拡大します。

パフォーマンスハイライト:

  • 本当ロールにロール ALD プロセス
  • 最大網の幅 500 の mm
  • 網の処理の非連絡
  • 容量 400,000 m2/year (特定のアプリケーションのために)

システム主要なコンポーネント

  • 網の巻き枠が付いている真空槽、ドラムおよび ALD のコーティングヘッドを処理します
  • Beneq の前駆物質の投射手段 (PDS)
  • 電気および制御キャビネット
  • 前駆物質の非活動化システム
  • 真空ポンプ

Last Update: 11. January 2012 04:44

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