Het Systeem van de Deklaag van het Web voor broodje-aan-Broodje ALD - WCS 500 van Beneq Oy

Voor de allereerste tijd in (het AtoomDeposito van de Laag) geschiedenis ALD, is het broodje-aan-broodje gemaakt voor onderzoek en industriële productie haalbaar en toegankelijk. WCS 500 biedt waar broodje-aan-broodje ALD op flexibele Web tot aan 500 mm in breedte.

Beneq WCS 500 is ontworpen als ontwikkelingsplatform, wat betekent het op de verschillende behoeften van R&D van verschillende klanten kan gericht zijn. Als voorbeeld, kan WCS 500 vele soorten substraatmaterialen en dikten behandelen. Met een deklaagcapaciteit van 400.000 m2/year, breidt WCS zich 500 gemakkelijk van R&D uit aan proefproductie voor vele industriële toepassingen, met inbegrip van vochtigheidsbarrières voor flexibele organische elektronika en bufferlagen voor zonnecellen CIGS.

De hoogtepunten van Prestaties:

  • waar broodje-aan-broodje ALD proces
  • maximum Webbreedte 500 mm
  • non-contacting Web behandeling
  • capaciteit 400.000 m2/year (voor specifieke toepassing)

De hoofdcomponenten van het Systeem

  • Luchtledige kamer met Webspoelen, die trommel en ALD deklaaghoofd verwerken
  • Het Systeem van de Levering van de Voorloper van Beneq (PDS)
  • Elektro en controlekabinet
  • De deactiveringssysteem van de Voorloper
  • Vacuümpomp

Last Update: 11. January 2012 04:37

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment