Voor de allereerste tijd in (het AtoomDeposito van de Laag) geschiedenis ALD, is het broodje-aan-broodje gemaakt voor onderzoek en industriële productie haalbaar en toegankelijk. WCS 500 biedt waar broodje-aan-broodje ALD op flexibele Web tot aan 500 mm in breedte.
Beneq WCS 500 is ontworpen als ontwikkelingsplatform, wat betekent het op de verschillende behoeften van R&D van verschillende klanten kan gericht zijn. Als voorbeeld, kan WCS 500 vele soorten substraatmaterialen en dikten behandelen. Met een deklaagcapaciteit van 400.000 m2/year, breidt WCS zich 500 gemakkelijk van R&D uit aan proefproductie voor vele industriële toepassingen, met inbegrip van vochtigheidsbarrières voor flexibele organische elektronika en bufferlagen voor zonnecellen CIGS.
De hoogtepunten van Prestaties:
- waar broodje-aan-broodje ALD proces
- maximum Webbreedte 500 mm
- non-contacting Web behandeling
- capaciteit 400.000 m2/year (voor specifieke toepassing)
De hoofdcomponenten van het Systeem
- Luchtledige kamer met Webspoelen, die trommel en ALD deklaaghoofd verwerken
- Het Systeem van de Levering van de Voorloper van Beneq (PDS)
- Elektro en controlekabinet
- De deactiveringssysteem van de Voorloper
- Vacuümpomp