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Sistema de Revestimento da Web para o Rolo-à-Rolo ALD - WCS 500 de Beneq Oy

Por muito a primeira vez na história de ALD (Depósito Atômico da Camada), o rolo-à-rolo foi feito viável e acessível para a pesquisa e a produção industrial. O WCS 500 oferece ao rolo-à-rolo verdadeiro ALD em Web flexíveis até 500 milímetros na largura.

O Beneq WCS 500 foi projectado como uma plataforma da revelação, que os meios ele pudessem endereçar as necessidades diferentes do R&D de clientes diferentes. Como um exemplo, o WCS 500 pode segurar muitos tipos de materiais e de espessuras da carcaça. Com uma capacidade do revestimento de 400.000 m2/year, o WCS 500 expande facilmente do R&D para pilotar a produção para muitas aplicações industriais, incluindo barreiras da umidade para camadas orgânicas flexíveis da eletrônica e do amortecedor para células solares dos CIGS.

Destaques do Desempenho:

  • processo verdadeiro do rolo-à-rolo ALD
  • largura máxima da Web 500 milímetros
  • não-contactando a manipulação da Web
  • capacidade 400.000 m2/year (para a aplicação específica)

Componentes principais do Sistema

  • Câmara de Vácuo com carretéis da Web, processando a cabeça do cilindro e do revestimento de ALD
  • Sistema de Entrega do Precursor de Beneq (PDS)
  • Gabinete Elétrico e de controle
  • Sistema da desactivação do Precursor
  • Bomba de Vácuo

Last Update: 11. January 2012 04:50

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