Por muito a primeira vez na história de ALD (Depósito Atômico da Camada), o rolo-à-rolo foi feito viável e acessível para a pesquisa e a produção industrial. O WCS 500 oferece ao rolo-à-rolo verdadeiro ALD em Web flexíveis até 500 milímetros na largura.
O Beneq WCS 500 foi projectado como uma plataforma da revelação, que os meios ele pudessem endereçar as necessidades diferentes do R&D de clientes diferentes. Como um exemplo, o WCS 500 pode segurar muitos tipos de materiais e de espessuras da carcaça. Com uma capacidade do revestimento de 400.000 m2/year, o WCS 500 expande facilmente do R&D para pilotar a produção para muitas aplicações industriais, incluindo barreiras da umidade para camadas orgânicas flexíveis da eletrônica e do amortecedor para células solares dos CIGS.
Destaques do Desempenho:
- processo verdadeiro do rolo-à-rolo ALD
- largura máxima da Web 500 milímetros
- não-contactando a manipulação da Web
- capacidade 400.000 m2/year (para a aplicação específica)
Componentes principais do Sistema
- Câmara de Vácuo com carretéis da Web, processando a cabeça do cilindro e do revestimento de ALD
- Sistema de Entrega do Precursor de Beneq (PDS)
- Gabinete Elétrico e de controle
- Sistema da desactivação do Precursor
- Bomba de Vácuo