На очень первый раз в истории ALD (Атомного Низложения Слоя), крен-к-крен был сделан жизнеспособным и доступным для исследования и промышленного производства. WCS 500 предлагает истинному крен-к-крену ALD на гибких сетях до 500 mm в ширине.
Beneq WCS 500 было конструировано как платформа развития, которой середины оно могут адресовать различные потребности R&D различных клиентов. Как пример, WCS 500 может отрегулировать много типов материалов и толщин субстрата. С емкостью покрытия 400.000 m2/year, WCS 500 расширяет легко от R&D для пилотирования продукции для много промышленных применений, включая барьеры влаги для гибкой органической электроники и амортизирующие слои для фотоэлементов CIGS.
Самые интересные Представления:
- истинный процесс крен-к-крена ALD
- максимальная ширина сети 500 mm
- non-контактировать регулировать сети
- емкость 400.000 m2/year (для специфического применения)
Компоненты Системы главным образом
- Камера Вакуума с вьюрками сети, обрабатывающ головку барабанчика и покрытия ALD
- Средство Доставки Прекурсора Beneq (PDS)
- Шкаф Электрических и управления
- Система выключения Прекурсора
- Вачуумный насос