Система Покрытия Сети для Крен-к-Крена ALD - WCS 500 от Beneq Oy

На очень первый раз в истории ALD (Атомного Низложения Слоя), крен-к-крен был сделан жизнеспособным и доступным для исследования и промышленного производства. WCS 500 предлагает истинному крен-к-крену ALD на гибких сетях до 500 mm в ширине.

Beneq WCS 500 было конструировано как платформа развития, которой середины оно могут адресовать различные потребности R&D различных клиентов. Как пример, WCS 500 может отрегулировать много типов материалов и толщин субстрата. С емкостью покрытия 400.000 m2/year, WCS 500 расширяет легко от R&D для пилотирования продукции для много промышленных применений, включая барьеры влаги для гибкой органической электроники и амортизирующие слои для фотоэлементов CIGS.

Самые интересные Представления:

  • истинный процесс крен-к-крена ALD
  • максимальная ширина сети 500 mm
  • non-контактировать регулировать сети
  • емкость 400.000 m2/year (для специфического применения)

Компоненты Системы главным образом

  • Камера Вакуума с вьюрками сети, обрабатывающ головку барабанчика и покрытия ALD
  • Средство Доставки Прекурсора Beneq (PDS)
  • Шкаф Электрических и управления
  • Система выключения Прекурсора
  • Вачуумный насос

Last Update: 11. January 2012 04:51

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment