Rengöringsduk som Täcker Systemet för Rulle-till-Rulle ALD - WCS 500 från Beneq Oy

För mycket den första tiden i historia för ALD (Atom- LagrarAvlagring) har rulle-till-rulle gjorts livsduglig och tillgänglig för forskning och industriell produktion. WCSEN 500 erbjuder riktig rulle-till-rulle ALD på böjlig en mm 500 för rengöringsdukar upp till i bredd.

Beneqen WCS 500 har planlagts som en utvecklingsplattform, som hjälpmedlet det kan tilltala de olika R&D-behoven av olika kunder. Som ett exempel kan WCSEN 500 behandla många typer av substratematerial och tjocklekar. Med en täcka kapacitet av 400.000 m2/year utvidgar WCSEN 500 lätt från R&D för att lotsa produktionen för många industriella applikationer, inklusive fuktighetsbarriärer för böjlig organisk elektronik och för att fungera som buffert lagrar för sol- celler för CIGS.

Kapacitetsviktig:

  • processaa riktig rulle-till-rulle ALD
  • maximum en mm för rengöringsdukbredd 500
  • non-kontakta rengöringsdukbruk
  • kapacitet 400.000 m2/year (för specifik applikation)

Huvudsakliga delar för System

  • Dammsuga kammaren med rengöringsdukrullar och att bearbeta trumma och ALD som täcker huvudet
  • System för Beneq PrecursorLeverans (PDS)
  • Elektriskt och kontrollera kabinett
  • Precursorinaktiveringssystem
  • Vacuum pumpar

Last Update: 23. January 2012 03:56

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment