För mycket den första tiden i historia för ALD (Atom- LagrarAvlagring) har rulle-till-rulle gjorts livsduglig och tillgänglig för forskning och industriell produktion. WCSEN 500 erbjuder riktig rulle-till-rulle ALD på böjlig en mm 500 för rengöringsdukar upp till i bredd.
Beneqen WCS 500 har planlagts som en utvecklingsplattform, som hjälpmedlet det kan tilltala de olika R&D-behoven av olika kunder. Som ett exempel kan WCSEN 500 behandla många typer av substratematerial och tjocklekar. Med en täcka kapacitet av 400.000 m2/year utvidgar WCSEN 500 lätt från R&D för att lotsa produktionen för många industriella applikationer, inklusive fuktighetsbarriärer för böjlig organisk elektronik och för att fungera som buffert lagrar för sol- celler för CIGS.
Kapacitetsviktig:
- processaa riktig rulle-till-rulle ALD
- maximum en mm för rengöringsdukbredd 500
- non-kontakta rengöringsdukbruk
- kapacitet 400.000 m2/year (för specifik applikation)
Huvudsakliga delar för System
- Dammsuga kammaren med rengöringsdukrullar och att bearbeta trumma och ALD som täcker huvudet
- System för Beneq PrecursorLeverans (PDS)
- Elektriskt och kontrollera kabinett
- Precursorinaktiveringssystem
- Vacuum pumpar