对于在 ALD (基本层证言) 历史记录的首先次，辊对辊使可行和可访问为研究和工业生产。 WCS 500 提供在灵活的万维网的真的辊对辊 ALD 在宽度的 500 mm。
Beneq WCS 500 被设计了作为发展平台，平均值它可能处理不同的客户的不同的 R&D 需要。 为例， WCS 500 可能处理基体材料和厚度的许多类型。 以 400,000 个 m2/year 涂层能力， WCS 500 从 R&D 容易地扩展驾驶许多行业应用的生产，包括灵活的有机电子和缓冲层的湿气障碍香烟太阳能电池的。
性能高亮度显示：
- 真的辊对辊 ALD 进程
- 最大万维网宽度 500 mm
- 非联络万维网处理
- 能力 400,000 m2/year (为特定应用)
系统主要成份
- 与万维网卷轴的真空箱，处理鼓和 ALD 涂层题头
- Beneq 前体送货系统 (PDS)
- 电子和控制台
- 前体钝化系统
- 真空泵