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万维网辊对辊的 ALD - 从 Beneq Oy 的 WCS 500 涂层系统

对于在 ALD (基本层证言) 历史记录的首先次,辊对辊使可行和可访问为研究和工业生产。 WCS 500 提供在灵活的万维网的真的辊对辊 ALD 在宽度的 500 mm。

Beneq WCS 500 被设计了作为发展平台,平均值它可能处理不同的客户的不同的 R&D 需要。 为例, WCS 500 可能处理基体材料和厚度的许多类型。 以 400,000 个 m2/year 涂层能力, WCS 500 从 R&D 容易地扩展驾驶许多行业应用的生产,包括灵活的有机电子和缓冲层的湿气障碍香烟太阳能电池的。

性能高亮度显示:

  • 真的辊对辊 ALD 进程
  • 最大万维网宽度 500 mm
  • 非联络万维网处理
  • 能力 400,000 m2/year (为特定应用)

系统主要成份

  • 与万维网卷轴的真空箱,处理鼓和 ALD 涂层题头
  • Beneq 前体送货系统 (PDS)
  • 电子和控制台
  • 前体钝化系统
  • 真空泵

Last Update: 11. January 2012 04:36

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