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萬維網輥對輥的 ALD - 從 Beneq Oy 的 WCS 500 塗層系統

對於在 ALD (基本層證言) 歷史記錄的首先次,輥對輥使可行和可訪問為研究和工業生產。 WCS 500 提供在靈活的萬維網的真的輥對輥 ALD 在寬度的 500 mm。

Beneq WCS 500 被設計了作為發展平臺,平均值它可能處理不同的客戶的不同的 R&D 需要。 为例, WCS 500 可能處理基體材料和厚度的許多類型。 以 400,000 个 m2/year 塗層能力, WCS 500 從 R&D 容易地擴展駕駛許多行業應用的生產,包括靈活的有機電子和緩衝層的濕氣障礙香煙太陽能電池的。

性能高亮度顯示:

  • 真的輥對輥 ALD 進程
  • 最大萬維網寬度 500 mm
  • 非聯絡萬維網處理
  • 能力 400,000 m2/year (為特定應用)

系統主要成份

  • 與萬維網卷軸的真空箱,處理鼓和 ALD 塗層題頭
  • Beneq 前體送貨系統 (PDS)
  • 電子和控制台
  • 前體鈍化系統
  • 真空泵

Last Update: 23. January 2012 03:54

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