RAITH150-ΔΥΟ δέσμης ηλεκτρονίων Άμεση Γράψτε Σύστημα

Νέο σύστημα δέσμη ηλεκτρονίων άμεση γράφουν. Βελτιωμένη σταθερότητα, μια νέα ψηφιακή γεννήτρια και μια υπερ-υψηλή ανάλυση οπτική ηλεκτρονίων να οδηγήσει σε νέες προδιαγραφές.

Η RAITH150 δύο είναι η πρωταρχική επιλογή του Nano Ερευνητικών Κέντρων για την εξαιρετικά υψηλή ανάλυση σχηματομόρφωσης στην περιοχή νανομέτρων και σύνθετες εφαρμογές για τις μάσκες και γκοφρέτες έως και 8 ιντσών. Μια 20-MHz γεννήτρια χαρακτήρα χρησιμοποιούν βελτιστοποιημένη μοτίβο γεμίσματος τρόπους μειώνει χρόνους έκθεσης. Η σταθερότητα είναι βελτιωμένη από τα νέας σχεδίασης θωράκιση με ανεξάρτητο έλεγχο θερμοκρασίας.

Η RAITH150-ΔΥΟ χρησιμοποιεί τις τελευταίες εξελίξεις στην τεχνολογία των οπτικών ηλεκτρονίων. Ένα μοναδικό cross-over-free διαδρομή της δέσμης δίνει εξαιρετικά μεγάλη σκάλα πυκνότητες ρεύματος περίπου 20.000 A/cm2 παροχή υπερ-υψηλή ανάλυση σχηματομόρφωσης σε συνδυασμό με αυξημένη απόδοση λιθογραφία.

Βασικά εφαρμογές

  • Mix-και-match με οπτική λιθογραφία
  • Προηγμένη προτυποποίηση συσκευή
  • Ανοίγματα στις γκοφρέτες και μάσκες
  • Πρότυπο κατασκευής

Last Update: 20. October 2011 09:30

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment