El Haz Electrónico de RAITH150-TWO Directo Escribe el Sistema

El NUEVO sistema para el haz electrónico directo escribe. La estabilidad Mejorada, un nuevo Generador de Modelo de Digitaces y una óptica de electrón ultraalta de la resolución dan lugar a nuevos pliegos de condiciones.

El RAITH150-TWO es la opción primaria de los Centros de Investigación Nanos para modelar ultra de alta resolución en el rango del nanómetro y de las aplicaciones complejas en máscaras y fulminantes hasta 8 pulgadas. Un generador de modelo 20-MHz usando modos que llenan optimizados del modelo acorta tiempos de exposición. La Estabilidad es mejorada mediante proteger nuevamente diseñado con control de la temperatura independiente.

El RAITH150-TWO utiliza los últimos progresos de la tecnología de la óptica de electrón. Un camino de haz cruz-sobre-libre único da a luz larga extremadamente densidades corrientes de cerca de 20.000 A/cm2 que entregan la resolución que modela ultraalta conjuntamente con la producción creciente de la litografía.

Aplicaciones Dominantes

  • Mezcla-y-Emparejamiento con litografía óptica
  • Creación de un prototipo Avanzada del dispositivo
  • Exposiciones en los fulminantes y las máscaras
  • Fabricación del Modelo

Last Update: 3. February 2012 16:35

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