Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

RAITH150-DALAWANG elektron Beam Direct Sumulat System

BAGONG sistema para sa mga elektron sinag direct magsulat. Pinabuting katatagan, isang bagong Digital Pattern Generator at isang ultra-mataas na resolution ng elektron optika magresulta sa mga bagong pagtutukoy.

Ang RAITH150-DALAWANG ay ang pangunahing pagpili ng Nano Research Centres para sa masyadong mataas na resolution patterning sa nanometer saklaw at kumplikadong mga aplikasyon sa mga masks at wafers hanggang sa 8 pulgada. Ang isang 20-MHz generator pattern na gamit optimized na pattern pagpuno ng mga mode shortens ulit exposure. Ang katatagan ay pinahusay na sa pamamagitan ng bagong dinisenyo shielding na may malayang temperatura control.

Ang RAITH150-DALAWANG utilizes ang pinakabagong developments sa elektron optika teknolohiya. Isang natatanging cross-over-free na sinag ng path ay nagbibigay ng napakataas na sinag ng kasalukuyang densities ng tungkol sa 20,000 A/cm2 paghahatid ng ultra-mataas na resolution ng patterning sa kumbinasyon na may nadagdagan litograpya throughput.

Key application

  • Mix-at-tugma sa optical litograpya
  • Advanced na aparato prototyping
  • Exposures sa mga wafers at masks
  • Template manufacturing

Last Update: 17. October 2011 08:41

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment