Diffractometer de Recherches de Matériaux de X'Pert de PANalytical le PRO est le système le plus flexible disponible pour des études de diffraction des rayons X Pour :
- science des matériaux et nanotechnologie avancée
- caractérisation metrologic dans le développement de processus de semi-conducteur
Il peut traiter un large éventail d'applications, et est particulièrement adapté pour des applications d'analyse de film mince comme :
- analyse de oscillation de courbure et mappage de l'espace réciproque
- analyse de réflectométrie et de phase de film mince
- analyse de contrainte résiduelle et de texture
Aussi bien que la version normale prouvée du PRO MILLIRUTHERFORD système de X'Pert, un certain nombre de versions personnalisées existent :
- diffraction de dans-plan pour mesurer la diffraction des plans de réseau qui sont perpendiculaires à la surface témoin
- une version étendue permettant monter d'un miroir de Rayon X et d'un monochromateur à haute résolution en ligne, augmentant l'intensité du rayon incident
- conditions à haute résolution d'analyse de XRD des semi-conducteurs, des films minces, et des industries de matériaux avancés
- un outil avancé pour le développement de processus de film mince