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Diffractometer de Rayon X - X'Pert PRO MILLIRUTHERFORD de PANalytical

Diffractometer de Recherches de Matériaux de X'Pert de PANalytical le PRO est le système le plus flexible disponible pour des études de diffraction des rayons X Pour :

  • science des matériaux et nanotechnologie avancée
  • caractérisation metrologic dans le développement de processus de semi-conducteur

Il peut traiter un large éventail d'applications, et est particulièrement adapté pour des applications d'analyse de film mince comme :

  • analyse de oscillation de courbure et mappage de l'espace réciproque
  • analyse de réflectométrie et de phase de film mince
  • analyse de contrainte résiduelle et de texture

Aussi bien que la version normale prouvée du PRO MILLIRUTHERFORD système de X'Pert, un certain nombre de versions personnalisées existent :

  • diffraction de dans-plan pour mesurer la diffraction des plans de réseau qui sont perpendiculaires à la surface témoin
  • une version étendue permettant monter d'un miroir de Rayon X et d'un monochromateur à haute résolution en ligne, augmentant l'intensité du rayon incident
  • conditions à haute résolution d'analyse de XRD des semi-conducteurs, des films minces, et des industries de matériaux avancés
  • un outil avancé pour le développement de processus de film mince

Last Update: 11. January 2012 04:39

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