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X-射线衍射计 - X'Pert 从 PANalytical 的赞成 MRD

PANalytical 的 X'Pert 赞成材料研究衍射计是这个最灵活的系统可用为 X 光衍射研究为:

  • 高级材料科学和纳米技术
  • 在半导体工艺过程开发的 metrologic 描述特性

它可能处理各种各样的应用,并且特别适用于薄膜分析应用例如:

  • 晃动的曲线分析和倒易空间映射
  • 反射计和薄膜阶段分析
  • 剩余应力和纹理分析

并且 X'Pert 赞成 MRD 系统的证明的标准版本,一定数量的特殊版本存在:

  • 评定从是垂直的对范例表面的晶格面的衍射的飞机衍射
  • 一个延长的版本允许线型挂接 X-射线的镜子和高分辨率的单色仪,增加入射线的强度
  • 半导体、薄膜和高级材料行业的高分辨率 XRD 分析需求
  • 为薄膜工艺过程开发的一个先进的工具

Last Update: 11. January 2012 04:36

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