PANalytical 的 X'Pert 赞成材料研究衍射计是这个最灵活的系统可用为 X 光衍射研究为:
- 高级材料科学和纳米技术
- 在半导体工艺过程开发的 metrologic 描述特性
它可能处理各种各样的应用,并且特别适用于薄膜分析应用例如:
- 晃动的曲线分析和倒易空间映射
- 反射计和薄膜阶段分析
- 剩余应力和纹理分析
并且 X'Pert 赞成 MRD 系统的证明的标准版本,一定数量的特殊版本存在:
- 评定从是垂直的对范例表面的晶格面的衍射的飞机衍射
- 一个延长的版本允许线型挂接 X-射线的镜子和高分辨率的单色仪,增加入射线的强度
- 半导体、薄膜和高级材料行业的高分辨率 XRD 分析需求
- 为薄膜工艺过程开发的一个先进的工具