帕納科的X'Pert PRO材料研究衍射儀是最靈活的系統,X射線衍射研究適用於:
- 先進的材料科學和納米技術
- Metrologic公司在半導體工藝發展的表徵
它可以處理廣泛的應用範圍,特別適合如薄膜分析應用:
- 搖擺曲線分析和互惠空間的映射
- 反射和薄膜相分析
- 殘餘應力和紋理分析
以及行之有效的X'Pert專業MRD的系統標準版,存在一些特殊版本:
- 平面衍射測量垂直於樣品表面的晶面的衍射
- 擴展版本允許安裝一個 X光鏡和一個高分辨率行單色,增加入射光的強度
- 高分辨率X射線衍射分析的要求,半導體,薄膜和先進材料產業
- 先進的薄膜工藝開發工具