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KLA-Tencor からの AlphaStep® D-500 スタイラス型彫機

KLA-Tencor からの AlphaStep® D-500 スタイラス型彫機

KLA-Tencor のアルファステップ® D-500 スタイラス型彫機は側面図を描く高リゾリューション第 2 を進めた使いやすい装置プロフィールのステッチの、第 2 圧力および多くの追加機能です。 スタイラス型彫機は革新的な光学レバーのセンサー技術および 140mm マニュアルの段階を特色にします。 それはまた高度の光学とともに多目的なサンプル視覚化のための改善されたビデオ制御を含んでいます。

D-500 スタイラス型彫機にナノメーターからのミリメートルに第 2 の定める機能が歩みます、柔らかい材料、高リゾリューションの荒さ、およびそれにより市場で使用できる最も適用範囲が広い第 2 スタイラス型彫機のそれに 1 つをする薄膜の圧力のいくつかのアプリケーションを、あります。

主要特点

AlphaStep D-500 スタイラス型彫機® 主な特長は下記のものを含んでいます:

  • 直観的なユーザー・インターフェース
  • 1200µm の最も高い縦の範囲
  • 1µm のステップの 5Å のステップ高さの反復性
  • 4x デジタルズームレンズが付いている高リゾリューション 5MP カラーカメラ
  • 15g への 0.03 の低い力の測定
  • 台形訂正およびアークの訂正のソフトウェア機能

アプリケーション

AlphaStep D-500 スタイラス型彫機® 主要出願は下記のものを含んでいます:

  • 太陽
  • LED
  • MEMS
  • 大学
  • データ記憶
  • 半導体
  • 医療機器
  • 材料の研究
  • 政府の実験室

Last Update: 9. February 2015 12:46

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