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KLA - Tencor社からアルファステップD - 100プロフィル

スタイラスプロファイラのKLA - Tencor社の開発シリーズは、エンジニアリングと研究コミュニティのニーズに焦点を当てた完全なプロフィル計測ソリューションを提供しています。表面プロファイラ製品の我々の開発シリーズは、フル機能のプロフィル製品の納入、新技術の統合、およびパフォーマンスの向上により、お客様の多様な要件を満たすように設計されています。

  • 30mmのスキャンの長さ
  • 最大1.2 mmまでのZセンサ範囲
  • 140ミリメートルマニュアルサンプルの位置決めステージ
  • 力制御0.03mg - 10mgの
  • Windows XPでは、Vista、およびWindows 7の互換性

AlphaStep ® D - 100プロフィルは、迅速かつ定量的に表面の2次元地形を測定します。 AlphaStep ® D - 100プロフィルの測定システムは、800ミクロン(オプション1.2ミリメートル)Zの範囲、サブオングストロームの分解能、6オングストロームステップの高さの再現性、手動XYθのサンプルの位置決めステージ、および他の多くの機能が含まれています。

グラフィカルユーザインタフェースは、ユーザーが継続的に取得し、スキャン測定データを表示できるマルチドキュメントインターフェースを持っています。これは、追加の測定値を取得する際に、ユーザーがデータを分析することが可能。プロファイラのソフトウェアが自動的に水平に、スキャン機能は、測定、および画面上でExcel互換の形式で表示されるサポートのスキャンを制御します。すべてのウィンドウは、コントロールパネルやデータの結果ウィンドウがフロートしたり、任意の場所に画面上にドッキングされるデータ表示ウィンドウは、リアルタイムスキャンのウィンドウを、意味している独立しています。この機能により、ユーザーはデータを取得し、分析することで、完全に柔軟な環境を提供します。

アプリケーション:

  • 表面組織
  • 精度のステップの高さ
  • 表面の形
  • 薄い膜応力

Last Update: 10. October 2011 11:25

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