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KLA-Tencor에서 AlphaStep® D-500 첨필 프로 파일러

KLA-Tencor의 알파 단계® D-500 첨필 프로 파일러는 윤곽을 그리는 고해상 제 2 진행한 사용하기 편한 장치, 단면도 바느질의, 제 2 긴장 및 많은 추가 특징입니다. 첨필 프로 파일러는 혁신적인 광학적인 레버 감지기 기술 및 140mm 설명서 단계를 특색짓습니다. 그것은 또한 향상된 광학과 함께 다재다능한 견본 구상을 위한 향상한 영상 통제를 포함합니다.

D-500 첨필 프로 파일러에는 나노미터에서 밀리미터에 제 2 의 결정하는 기능이 족답합니다, 연약한 물자, 고해상 소밀, 및 그로 인하여 시장에서 유효한 가장 유연한 제 2 첨필 프로 파일러의 그것에게 1개를 만드는 박막 긴장에 있는 다수 응용을, 있습니다.

주요 특징

AlphaStep D-500 첨필 프로 파일러® 주요 특징은 다음을 포함합니다:

  • 직관적인 사용자 인터페이스
  • 1200µm에 가장 높은 수직 범위
  • 1µm 단계에 5Å의 단계 고도 반복성
  • 4x 디지털 급상승을 가진 고해상 5MP 군기 사진기
  • 15g에 0.03에 낮은 군대 측정
  • 요지 개정과 아크 개정 소프트웨어 특징

응용

AlphaStep D-500 첨필 프로 파일러® 주요 응용 프로그램은 다음을 포함합니다:

  • 태양
  • LED
  • MEMS
  • 대학
  • 자료 기억 장치
  • 반도체
  • 의료 기기
  • 물자 연구
  • 정부 실험실

Last Update: 9. February 2015 12:46

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