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从 KLA-Tencor 的 AlphaStep® D-500 铁笔仿形铣床

KLA-Tencor 的阿尔法步骤® D-500 铁笔仿形铣床是提前描出的高分辨率第 2 的一个易用设备,配置文件缝的,第 2 个重点和许多另外的功能。 铁笔仿形铣床以一种创新光学杠杆传感器技术和 140mm 指南阶段为特色。 它与先进的光学一起也包括多才多艺的范例形象化的被改进的视频控制。

D-500 铁笔仿形铣床有这个功能确定在第 2,从毫微米到毫米跨步,软的材料,高分辨率坎坷和薄膜重点的一定数量的应用,从而做它一最灵活的第 2 台铁笔仿形铣床可用在这个市场上。

关键功能

AlphaStep D-500 铁笔仿形铣床的® 主要功能包括:

  • 直观用户接口
  • 在 1200µm 的最高的垂直的范围
  • 步骤 5Å 的高度反复性在 1µm 步骤的
  • 与 4x 数字式缩放的高分辨率 5MP 彩色摄影机
  • 在 0.03 的低强制评定对 15g
  • 主要更正和弧更正软件特点

应用

AlphaStep D-500 铁笔仿形铣床的® 主要应用包括:

  • 太阳
  • LED
  • MEMS
  • 大学
  • 数据存储
  • 半导体
  • 医疗设备
  • 材料研究
  • 政府实验室

Last Update: 9. February 2015 12:45

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