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Nano--Manipulator AutoProbe 200 Anlage von Omniprobe

Das AutoProbe™ 200 ist Omniprobes populärste Nano-manipulator Anlage. Es ist eine völlig automatisierte, Vielzweck-Nano--Positionierungsanlage, die zu in-situ fähig ist, heraushebt, elektrische Maße, Nano--mechanische Prüfung und Ladungsneutralisation in der FLUNKEREI, im Stangenbohrer oder in SEM. Die rechnergesteuerte Anlage bietet hohen Durchsatz, hohe Genauigkeit (100nm Standard, 10nm wahlweise) und eine Bereich-erwiesene ausgezeichnete Erfolgskinetik für alle Aufgaben an.

Die Anlage umfaßt einen engagierten PC, eine Flachbildschirmanzeige mit der Schreibtischbefestigung Bildschirmanzeigewaffe, ein genaues Teilsystem des linearen Antrages von 3 Schwerpunkt, das Stufe-montierte lineare Kodierer enthalten, eine Antragantriebssteuerung und ein Ausbildungshandbuch einschließlich ein ausführliches Einbauverfahren. Das Antragkontrollsystem AutoProbe™ 200 ist zu innerhalb 100nm der Stufendistanzadresse (10nm erhältlich) über der gesamten Reichweite des Antrages erhältlich innerhalb der Unterdruckkammer extrem genau und wiederholbar.

Andere Merkmale umfassen die Fähigkeit zu sichern und zu spezifischem XYZ zurückzugehen koordiniert entsprechend Einbauorten von Zinsen, schaltet das Koordinatennetz des Bezugs hin und her vom Fühleranschluß XYZ auf dem der Beispielstufe, Oberflächenkontaktdes warning und des Befunds und der benutzerselektierten örtlich festgelegten Inkrementalbewegung mit Auflösung 100nm und der kontinuierlichen Bewegung der Fühlerspitze. Das Standard-Software Paket ist zu vier AutoProbes gleichzeitig steuern fähig. Das AutoProbe™ 200 ist die Kammer, die montiert wird, also ist es mit GanzWafer Analyse sowie diskreter Beispielmanipulation kompatibel.

Zubehör enthalten eine Dehnungsmessgerät-Fühlerumkippungshalterung für genaues aufsetzen Befund und Nano--mechanische Prüfung, einen esteuerten 4. Servoschwerpunkt für Rotation.

Last Update: 14. January 2013 06:39

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