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Omniprobe からの AutoProbe 200 の Nano マニピュレーターシステム

AutoProbe™ 200 は Omniprobe の最も普及した nano マニピュレーターシステムです。 それは in-situ が可能な十分に自動化された、多目的 nano 位置システム取り外します、他愛ない嘘、オーガーまたは SEM の電気測定、 nano 機械テストおよび料金の中和です。 コンピューター制御システムは高精度なすべてのタスクのための高いスループット (100nm 標準、任意選択 10nm) および実証済みの優秀な成功率を提供します。

システムは机台紙の表示アームを搭載する専用パソコン、フラットパネルディスプレイ、段階取付けられた線形エンコーダを、詳しいインストール手順を含む動作制御インターフェイス組み込む精密な 3 軸線の直線運動サブシステムおよび使用説明書を含んでいます。 AutoProbe™ 200 の動作制御システムは真空槽の内で使用できる動きの全体の範囲上の段階の変位 (使用できる 10nm) の 100nm の内でに非常に正確、反復可能です。

他の機能は保存する機能を含み、特定の XYZ へ戻ることは興味の位置に相当して調整しましたり、プローブポート XYZ からサンプル段階のそれへの等位の関係枠を、 100nm 解像度の表面の接触の警告および検出およびユーザが選択できする固定インクレメンタル動きおよびプローブの先端の連続的な動き前後に切替えます。 標準ソフトウェアパッケージは 4 つ AutoProbes を同時に制御することができます。 AutoProbe™ 200 は取付けられる区域です従って全ウエファーの分析、また慎重なサンプル処理と互換性があります。

アクセサリは精密のためのひずみゲージのプローブの先端のホールダーを着陸します検出および nano 機械テストの回転のためのサーボ制御された第 4 軸線を含んでいます。

Last Update: 14. January 2013 06:39

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