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Omniprobe에서 AutoProbe 200 Nano 조작자 시스템

AutoProbe™ 200는 Omniprobe의 대중적인 nano 조작자 시스템입니다. 제자리의 가 가능한 완전히 자동화한, 다중목적 nano 두는 시스템 들어냅니다, 거짓말, 송곳 또는 SEM에 있는 전기 측정, nano 기계적인 테스트 및 책임 중립화입니다. 컴퓨터 - 제어계는 높은 처리량, 고정확도 (100nm 기준, 선택 10nm) 및 모든 업무를 위한 필드 증명한 우수한 성공율을 제안합니다.

시스템은 책상 마운트 전시 무기를 가진 전용 PC, 편평한 패널 디스플레이, 단계 거치한 선형 인코더를, 상세한 설치 절차를 포함하여 움직임 제어 인터페이스 통합하는 정확한 3 측 선형 운동 하위 시스템 및 사용 설명서를 포함합니다. AutoProbe™ 200 움직임 통제 시스템은 진공 약실 안에서 유효한 움직임의 전체 범위에 단계 진지변환 (유효한 10nm)의 100nm 안에서에 극단적으로 정확합니다 반복 가능 입니다.

그밖 특징은 저장하는 기능을 포함하고 특정 XYZ에 돌려보내는 것은 관심사의 위치에 일치하는 협조하고, 탐사기 포트 XYZ에서 견본 단계의 그것에 기준틀 동등한, 100nm 해결책을 가진 표면 접촉 경고 및 탐지 및 사용자가 선택가능한 조정 점증형 운동 및 탐사기 끝의 지속적인 운동 이리저리 전환합니다. 표준 소프트웨어 포장은 4개 AutoProbes 동시에 통제 가능합니다. AutoProbe™ 200는 거치된 약실입니다 그래서 전체 웨이퍼 분석 뿐 아니라 신중한 견본 조작과 호환이 됩니다.

부속품은 정확한을 위한 변형계 탐사기 끝 홀더를 터치다운합니다 탐지와 nano 기계적인 테스트 의 교체를 위한 자동 귀환 제어 장치 통제되는 제 4 축선을 포함합니다.

Last Update: 14. January 2013 06:39

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