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Sistema do Nano-Manipulador de AutoProbe 200 de Omniprobe

O AutoProbe™ 200 é o sistema o mais popular do nano-manipulador de Omniprobe. É um sistema deposicionamento inteiramente automatizado, de múltiplos propósitos capaz de in situ levanta, medidas elétricas, teste nano-mecânico e neutralização da carga MENTIR, no Eixo Helicoidal ou no SEM. O sistema controlado por computador oferece a produção alta, a precisão alta (100nm padrão, 10nm opcional) e uma taxa de êxito excelente campo-provada para todas as tarefas.

O sistema inclui um PC dedicado, um ecrã plano com o braço do indicador da mesa-montagem, um subsistema preciso do movimento linear de 3 linhas centrais que incorporam codificadores lineares fase-montados, uma relação de controle do movimento, e um manual da instrução que inclui um procedimento de instalação detalhado. O sistema de controlo do movimento de AutoProbe™ 200 é extremamente exacto e repetível dentro de 100nm do deslocamento da fase (10nm disponível) sobre a escala inteira do movimento disponível dentro da câmara de vácuo.

Outras características incluem a capacidade para salvar e retornar ao XYZ específico coordena a correspondência aos lugar do interesse, comuta o quadro de referência coordenado para a frente e para trás da porta XYZ da ponta de prova àquele da fase da amostra, aviso e detecção do contacto da superfície, e movimento incremental fixo usuário-selecionável com definição 100nm e movimento contínuo da ponta da ponta de prova. O pacote de software padrão é capaz de controlar quatro AutoProbes simultaneamente. O AutoProbe™ 200 é câmara montada assim que é compatível com análise da inteiro-bolacha assim como manipulação discreto da amostra.

Os Acessórios incluem um suporte da ponta da ponta de prova do calibre de tensão para a detecção precisa do toque para baixo e o teste nano-mecânico, uma 4o linha central controlada servo para a rotação.

Last Update: 14. January 2013 06:40

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