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AutoProbe 200 从 Omniprobe 的纳诺操作者系统

AutoProbe™ 200 是 Omniprobe 的最普遍的纳诺操作者系统。 它是一个充分地自动化的,多用途纳诺确定的系统能够原地抱起,电子评定、纳诺机械测试和充电中立化在小谎、木钻或者 SEM。 计算机控制的系统提供高处理量,高精确度 (100nm 标准,选项的 10nm) 和一个现场以证实的非常好的成功率所有任务的。

这个系统包括一台专用的个人计算机、一台平板显示器与服务台挂接显示胳膊,一个准确的 3 轴直线运动子系统合并阶段被挂接的线性编码器的,一个运动控制界面和一本说明书包括一个详细安装过程。 AutoProbe™ 200 运动控制系统是非常准确和可重复的对在阶段位移内 (可用的 10nm) 100nm 在行动的整个范围可用在真空箱内。

其他功能包括这个能力保存,并且返回到特定 XYZ 协调与地点利益相应,从探测端口 XYZ 反复转换协调参照系在那探测技巧的范例阶段、表面接触警告和检测和用户可选的固定的递增移动与 100nm 解决方法和持续移动。 标准软设备组件能够同时控制四 AutoProbes。 AutoProbe™ 200 是被挂接的房间,因此它是与全部薄酥饼分析以及谨慎范例处理兼容。

辅助部件包括准确的一个应变仪探测技巧持有人着陆检测和纳诺机械测试,循环的一个伺服受控第 4 个轴。

Last Update: 14. January 2013 06:38

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