AutoProbe 200 從 Omniprobe 的納諾操作者系統

AutoProbe™ 200 是 Omniprobe 的最普遍的納諾操作者系統。 它是一個充分地自動化的,多用途納諾確定的系統能够原地抱起,電子評定、納諾機械測試和充電中立化在小謊、木鑽或者 SEM。 計算機控制的系統提供高處理量,高精確度 (100nm 標準,選項的 10nm) 和一個現場以證實的非常好的成功率所有任務的。

這個系統包括一臺專用的個人計算機、一臺平板顯示器與服務臺掛接顯示胳膊,一個準確的 3 軸直線運動子系統合併階段被掛接的線性編碼器的,一個運動控制界面和一本說明書包括一個詳細安裝過程。 AutoProbe™ 200 運動控制系統是非常準確和可重複的對在階段位移內 (可用的 10nm) 100nm 在行動的整個範圍可用在真空箱內。

其他功能包括這個能力保存,并且返回到特定 XYZ 協調與地點利益相應,從探測端口 XYZ 反覆轉換協調參照系在那探測技巧的範例階段、表面接觸警告和檢測和用戶可選的固定的遞增移動與 100nm 解決方法和持續移動。 標準軟設備組件能够同時控制四 AutoProbes。 AutoProbe™ 200 是被掛接的房間,因此它是與全部薄酥餅分析以及謹慎範例處理兼容。

輔助部件包括準確的一個應變儀探測技巧持有人著陸檢測和納諾機械測試,循環的一個伺服受控第 4 個軸。

Last Update: 14. January 2013 06:38

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