Das OmniGIS™ ist Omniprobes neue mehrfache Gas-Einspritzungsanlage für die FLUNKEREI oder SEM. Es liefert programmierbare Regelung von drei Bordgasquellen und eine zusätzliche externe Löschen-/Trägergasquelle, bei nur einzelne GIS besetzen an den Port anschließen! Der Benutzer kann komplexe Prozessflüsse erstellen und erinnern an. Das OmniGIS™ ist mit beiden Absetzungsvorläufern, Wolfram, Platin, Oxiden sowie Ätzungschemie kompatibel. Das OmniGIS™ verwendet industriekompatible feste oder flüssige Vorläufertiegel, die der Benutzer sind, der ohne Wiederausrichtung der benötigten Einspritzdüsenanlage austauschbar ist.
Hauptmerkmale:
- Industrie Führende Gas-Einspritzdüsen-Einzelne Nadel - Einzelner Anschluss- Multi-Quelle
- Große Vielfalt von Quellen Einschließlich Festes, Flüssigkeit und Gas
- MotorantriebsNadel-Positionierung
- Intuitive Graphikprogramm-„Luftwiderstand-u. Absinken-“ Rezept-Gestalten
- Einzelne oder MischQuellLieferung
- Lokal oder Fernsteuerungs von SEM, von der FLUNKEREI und von den Lithographie-Anlagen
- Hoch entwickelte Programmiereinrichtungen für Forschung
- MultifunktionsController-Unabhängiges Ethernet-Link zu SEM-/FIBComputer
- Präzision Steuerung Des Datenflusses
- Zusätzliche Kontrolle von Vorhandenen Gas-Einspritzdüsen