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OmniGIS-Gas-Einspritzungs-Anlage von Omniprobe

Das OmniGIS™ ist Omniprobes neue mehrfache Gas-Einspritzungsanlage für die FLUNKEREI oder SEM. Es liefert programmierbare Regelung von drei Bordgasquellen und eine zusätzliche externe Löschen-/Trägergasquelle, bei nur einzelne GIS besetzen an den Port anschließen! Der Benutzer kann komplexe Prozessflüsse erstellen und erinnern an. Das OmniGIS™ ist mit beiden Absetzungsvorläufern, Wolfram, Platin, Oxiden sowie Ätzungschemie kompatibel. Das OmniGIS™ verwendet industriekompatible feste oder flüssige Vorläufertiegel, die der Benutzer sind, der ohne Wiederausrichtung der benötigten Einspritzdüsenanlage austauschbar ist.

Hauptmerkmale:

  • Industrie Führende Gas-Einspritzdüsen-Einzelne Nadel - Einzelner Anschluss- Multi-Quelle
    • Große Vielfalt von Quellen Einschließlich Festes, Flüssigkeit und Gas
    • MotorantriebsNadel-Positionierung
  • Intuitive Graphikprogramm-„Luftwiderstand-u. Absinken-“ Rezept-Gestalten
    • Einzelne oder MischQuellLieferung
    • Lokal oder Fernsteuerungs von SEM, von der FLUNKEREI und von den Lithographie-Anlagen
    • Hoch entwickelte Programmiereinrichtungen für Forschung
  • MultifunktionsController-Unabhängiges Ethernet-Link zu SEM-/FIBComputer
    • Präzision Steuerung Des Datenflusses
    • Zusätzliche Kontrolle von Vorhandenen Gas-Einspritzdüsen

Last Update: 14. January 2013 06:39

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