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Sistema de Inyección del Gas de OmniGIS de Omniprobe

El OmniGIS™ es nuevo sistema de inyección múltiple del gas de Omniprobe para la BOLA o SEM. ¡Proporciona al mando de feedback programable de tres fuentes a bordo del gas y de una purgación externa adicional/a la fuente del gas portador mientras que ocupa los únicos SOLDADOS ENROLLADOS EN EL EJÉRCITO vira hacia el lado de babor solamente! El utilizador puede crear y revocar flujos de proceso complejos. El OmniGIS™ es compatible con ambos precursores de la deposición, Tungsteno, Platino, Óxidos, así como químicas del grabado de pistas. El OmniGIS™ utiliza los crisoles sólidos o líquidos del estándar industrial del precursor que son utilizador reemplazable sin la realineación del sistema del inyector requerido.

Características Dominantes:

  • Aguja De Cabeza del Inyector de Gas de la Industria Única - Único Acceso - Multi-Fuente
    • Gran Variedad de Fuentes Incluyendo Sólido, Líquido y Gas
    • Colocación Impulsada por motor de la Aguja
  • De la Caída del Software Estructuras Gráficas Intuitivas de la Receta de la “Resistencia Aerodinámica y”
    • Salida Individual o Mezclada de la Fuente
    • Local o Teledirigido de SEM, de BOLA, y de Sistemas de la Litografía
    • Características del Programa Avanzado para la Investigación
  • Conexión Independiente de Ethernet del Controlador Aéreo Multifuncional al Ordenador de SEM/FIB
    • Mando de Flujo de la Precisión
    • Mando Adicional de los Inyectores de Gas Existentes

Last Update: 14. January 2013 06:40

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