El OmniGIS™ es nuevo sistema de inyección múltiple del gas de Omniprobe para la BOLA o SEM. ¡Proporciona al mando de feedback programable de tres fuentes a bordo del gas y de una purgación externa adicional/a la fuente del gas portador mientras que ocupa los únicos SOLDADOS ENROLLADOS EN EL EJÉRCITO vira hacia el lado de babor solamente! El utilizador puede crear y revocar flujos de proceso complejos. El OmniGIS™ es compatible con ambos precursores de la deposición, Tungsteno, Platino, Óxidos, así como químicas del grabado de pistas. El OmniGIS™ utiliza los crisoles sólidos o líquidos del estándar industrial del precursor que son utilizador reemplazable sin la realineación del sistema del inyector requerido.
Características Dominantes:
- Aguja De Cabeza del Inyector de Gas de la Industria Única - Único Acceso - Multi-Fuente
- Gran Variedad de Fuentes Incluyendo Sólido, Líquido y Gas
- Colocación Impulsada por motor de la Aguja
- De la Caída del Software Estructuras Gráficas Intuitivas de la Receta de la “Resistencia Aerodinámica y”
- Salida Individual o Mezclada de la Fuente
- Local o Teledirigido de SEM, de BOLA, y de Sistemas de la Litografía
- Características del Programa Avanzado para la Investigación
- Conexión Independiente de Ethernet del Controlador Aéreo Multifuncional al Ordenador de SEM/FIB
- Mando de Flujo de la Precisión
- Mando Adicional de los Inyectores de Gas Existentes