Système d'Injection de Gaz d'OmniGIS d'Omniprobe

L'OmniGIS™ est le système d'injection multiple neuf du gaz d'Omniprobe pour le BOBARD ou le SEM. Lui fournit le contrôle de contrôle par retour de l'information programmable de trois sources intégrées de gaz et une source de purge externe supplémentaire/gaz porteur tout en occupant seulement des GIS uniques mettent en communication ! L'utilisateur peut produire et indiquer des flux de processus complexes. L'OmniGIS™ est compatible avec les deux précurseurs de dépôt, Tungstène, Platine, Oxydes, ainsi que chimies gravure à l'eau forte. L'OmniGIS™ utilise les creusets solides ou liquides industriellement compatibles de précurseur qui sont utilisateur remplaçable sans le réalignement du système d'injecteur exigé.

Fonctionnalités Clé :

  • Principal Pointeau Unique de Tuyère À Gaz d'Industrie - Port Unique - Multisource
    • Large Variété de Sources Comprenant Solide, le Liquide et le Gaz
    • Positionner Entraîné par un moteur électrique de Pointeau
  • De Goutte de Logiciel Constructions Graphiques Intuitives de Recette de « Frottement et »
    • Accouchement Individuel ou Mélangé de Source
    • Local ou À télécommande du SEM, du BOBARD, et des Systèmes de Lithographie
    • Caractéristiques techniques de Logiciel Avancé pour la Recherche
  • Barrette Autonome d'Ethernets de Contrôleur Multifonction à l'Ordinateur de SEM/FIB
    • Contrôle de Flux de Précision
    • Contrôle Supplémentaire des Tuyères À Gaz Existantes

Last Update: 14. January 2013 06:38

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