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Sistema de Injecção do Gás de OmniGIS de Omniprobe

O OmniGIS™ é sistema de injecção múltiplo novo do gás de Omniprobe para MENTIR ou SEM. Fornece um controle de feedback programável de três fontes a bordo do gás e uma fonte externo adicional do gás da remoção/portador ao ocupar somente únicos SOLDADOS move! O usuário pode criar e recordar fluxos de processo complexos. O OmniGIS™ é compatível com ambos os precursores do depósito, Tungstênio, Platina, Óxidos, assim como química gravura em àgua forte. O OmniGIS™ usa os cadinhos contínuos ou líquidos do padrão do sector do precursor que são usuário substituível sem o realinhamento do sistema do injector exigido.

Características Chaves:

  • Agulha Principal do Injector de Gás da Indústria Única - Única Porta - Multi-Source
    • Grande Variedade de Fontes que Incluem o Sólido, o Líquido e o Gás
    • Posicionamento Movido a motor da Agulha
  • Da Gota do Software do “Construções Gráficas Intuitivas da Receita Arrasto &”
    • Entrega Individual ou Misturada de Source
    • Local ou De Controle Remoto de SEM, MENTIR, e Sistemas da Litografia
    • Características de Software Avançado para a Pesquisa
  • Relação Autônoma do Ethernet do Controlador da Multi-Função ao Computador de SEM/FIB
    • Controle de Fluxo da Precisão
    • Controle Adicional de Injectores de Gás Existentes

Last Update: 14. January 2013 06:40

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