OmniGIS™ система впрыски газа Omniprobe новая множественная для FIB или SEM. Оно предусматривают programmable управление с обратной связью 3 бортовых источников газа и дополнительный внешний источник газа продувки/несущей пока занимающ только одиночные GIS переносят! Пользователь может создать и вспомнить сложные потоки процесса. OmniGIS™ совместимо с обеими прекурсорами низложения, Вольфрамом, Платиной, Окисями, так же, как химиями etch. OmniGIS™ использует тигли индустриального стандарта твердые или жидкостные прекурсора которые пользователь меняемый без перестройки необходимо системы инжектора.
Главные Особенности:
- Игла Инжектора Газа Индустрии Ведущая Одиночная - Одиночный Порт - Multi-Источник
- Большое Разнообразие Источников Включая Твердый, Жидкость и Газ
- Управляемый Мотором Располагать Иглы
- Интуитивные Графические Падения ПО «Строения Рецепта Сопротивления &»
- Индивидуальная или Смешанная Поставка Источника
- Местный или Дистанционные Управления от SEM, FIB, и Систем Литографированием
- Характеристики Продвинутого Программного Обеспечения для Исследования
- Соединение Локальных сетей Многофункционального Регулятора Отдельно стоящее к Компьютеру SEM/FIB
- Регулирование Потока Точности
- Дополнительное Управление Существующих Инжекторов Газа