OmniGIS™en är Omniprobes nya multipel gasar injektionsystemet för FIBEN eller SEM 2000. Den ger programmerbar återkoppling kontrollerar av tre gasar ombord källor, och ett extra yttre laxermedel/bärare gasar källstunder som upptar endast en singelGISport! Användaren kan skapa och återkalla processaa flöden för komplex. OmniGIS™en är kompatibel med båda avlagringprecursors, Tungsten, Platina, Oxider såväl som etsar kemiar. OmniGIS™en använder fasta för bransch standarda eller vätskeprecursorsmältdegler som är användaren som är utbytbar med ingen realignment av det krävda insprutningspumpsystemet.
Stämma Särdrag:
- att Leda för Bransch Gasar InsprutningspumpSingelVisaren - SingelPort - Mång--Källan
- Bred Variation av för Källor Heltäckande Däribland, Flytande och Gasar
- Motorisk Drivande VisarPositionering
- Intuitiv Grafisk Programvara ”Friktion & Tappar” ReceptBygganden
- Individ eller Blandad KällLeverans
- Lokal eller Fjärrkontroll från SEM 2000, FIB och LithographySystem
- Avancerade ProgramvaruSärdrag för Forskning
- Mång--Fungera Kontrollanten som det Fristående Ethernetet Anknyter till SEM-/FIBDatoren
- PrecisionFlöde Kontrollerar
- Extra Kontrollera av Existerande Gasar Insprutningspumpar