OmniGIS™是小谎或 SEM 的 Omniprobe 的新的多个气体注射系统。 它提供三个在机上气体来源和另外的外部清除可编程序的反馈控制/运载气体来源,当占用时唯一美国兵只端起! 这个用户能创建和收回复杂流程。 OmniGIS™是与两证言前体、钨、白金、氧化物,以及铭刻化学兼容。 OmniGIS™使用是用户可替换没有需要的注射器系统重新排列的工业标准固定或液体前体坩埚。
关键功能:
- 行业主导的气体注射器唯一针 - 唯一端口 - 多来源
- 来源多种多样包括固定,液体和气体
- 电动机驱动针确定
- 直观图形式软件 “阻力 & 下落”处方编译
- 单个或混杂的来源发运
- 局部或遥控从 SEM、小谎和石版印刷系统
- 研究的先进的软件功能
- 多功能 SEM/FIB 计算机的管理员独立以太网连结