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Le Profileur de Stylet d'AlphaStep® D-600 de KLA-Tencor

Le Profileur de Stylet d'AlphaStep® D-600 de KLA-Tencor

Le profileur de stylet de l'Alpha-Phase D-600 de KLA-Tencor fournit à des utilisateurs la haute résolution avancée 2D et profilage de 3D, le profil piquant, au 2D stress, et à plusieurs autres caractéristiques techniques dans une plate-forme pratique et conviviale.

Le profileur du stylet D-600 comporte un stade motorisé par 200mm, avec l'amplitude des mouvements DE X/Y de 150mm x de 178mm et une technologie des sondes optique avancée de manette. Il se compose également du bloc optique avancé et des contrôles visuels améliorés pour la visualisation flexible d'échantillon.

Le logiciel de ordonnancement nouveau est équipé de cadrage manuel de deskew, qui permet à des utilisateurs de programmer jusqu'à 1000 emplacements.

Le profileur du stylet D-600 peut mesurer beaucoup d'applications dans la 2D et 3D, de nanomètre aux phases de mm, matériaux mous, rugosité de haute résolution, et stress de film mince, rendant de ce fait lui le profileur de stylet le plus versatile disponible sur le marché.

Fonctionnalités Clé

Les principales caractéristiques du profileur® de stylet d'AlphaStep D-600 comprennent :

  • Interface utilisateur Intuitive
  • Mesures Faibles de force à 0,03 à 15mg
  • Caméra couleur 5MP De haute résolution avec le zoom numérique 4x
  • Le domaine vertical Le Plus Élevé à 1200µm
  • Répétabilité de hauteur de Phase de 5Å sur une phase de 1µm
  • La correction Trapézoïdale, ordonnançant avec le deskew, correction d'arc et piquer automatisé sont les caractéristiques techniques de logiciel neuves

Applications

Les applications principales du profileur® de stylet d'AlphaStep D-600 comprennent :

  • LED
  • MEMS
  • Solaire
  • Universités
  • Matériels médicaux
  • Recherche de Matériaux
  • Semi-conducteur
  • Stockage de données
  • Laboratoires de Gouvernement

Last Update: 9. February 2015 12:45

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