スタイラスプロファイラのKLA - Tencor社の開発シリーズは、エンジニアリングと研究コミュニティのニーズに焦点を当てた完全なソリューションを提供します。表面プロファイラ製品の我々の開発シリーズは、フル機能の製品の納入、新技術の統合、およびパフォーマンスの向上により、お客様の多様な要件を満たすように設計されています。
- 55ミリメートルのスキャンの長さ
- 最大1.2 mmまでのZセンサ範囲
- 200ミリメートル電動サンプルの位置決めステージ(150 x178 mmの動き)
- 力制御0.03mg - 10mgの
- ウィンドウズXP、Vista、およびWindows 7の互換性
AlphaStep ® D - 120システムは、最大1.2ミリメートルZの範囲、サブオングストロームの分解能、6オングストロームステップの高さの再現性、電動XYステージ、および他の多くの機能など、アプリケーション固有の機能の広い範囲を提供します。その電動150 X 178ミリメートルXYステージと、 AlphaStep ® D - 120は自動的にサンプル上の異なる場所で複数の測定を行うようにプログラムすることができます。追加機能として、D - 120は、汎用性の高いサンプルの可視化のための4倍電動ズームカメラを搭載しています。研究者やプロセスエンジニアのいずれかの場合は、 AlphaStepは® D - 120は、優れた価値と優れたパフォーマンスを提供します。
グラフィカルユーザインタフェースは、ユーザーが継続的にスキャンデータを取得および表示できるようにするマルチドキュメントインターフェイスを備えています。これは、追加の測定値を取得する際に、ユーザーがデータを分析することが可能。プロファイラソフトウェアが自動的に水平に、スキャン機能は、測定、および画面上でExcel互換の形式で表示されるサポートのスキャンを制御します。すべてのウィンドウは、コントロールパネルやデータの結果ウィンドウがフロートしたり、任意の場所に画面上にドッキングされるデータの表示窓、リアルタイムスキャンのウィンドウを、意味している独立しています。この機能により、ユーザーはデータを取得し、分析することで、完全に柔軟な環境を提供します。
のアプリケーションAlphaStepは® D - 120は、次のとおりです。
- 表面組織
- 精度のステップの高さ
- 表面の形
- 薄い膜応力
- 生物学的
- MEMS
- 3Dイメージング
- 材料特性化