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KLA-Tencor からの AlphaStep® D-600 スタイラス型彫機

KLA-Tencor のアルファステップ D-600 スタイラス型彫機は高度の高リゾリューション第 2 を、便利な、ユーザーフレンドリーのプラットホームの第 2 圧力ステッチしているユーザーおよび 3D の側面図を描くこと、プロフィールおよび他の複数の機能に与えます。

D-600 スタイラス型彫機は動きおよび高度の光学レバーのセンサー技術の 150mm x 178mm の X-Y 範囲が付いている 200mm モーターを備えられた段階、から成り立ちます。 それはまた適用範囲が広いサンプル視覚化のための高度の光学そして改善されたビデオ制御から成っています。

新しい配列のソフトウェアはユーザーが 1000 までの位置をプログラムすることを可能にする手動 deskew のアラインメントを与えられます。

D-600 スタイラス型彫機は第 2 そして 3D の多くのアプリケーションを、ナノメーターからのミリメートルのステップ、柔らかい材料、高リゾリューションの荒さ、およびそれによりそれに最も多目的なスタイラス型彫機を市場で使用できるようにする薄膜の圧力に、測定できます。

主要特点

AlphaStep D-600 スタイラス型彫機® 主な特長は下記のものを含んでいます:

  • 直観的なユーザー・インターフェース
  • 15mg への 0.03 の低い力の測定
  • 4x デジタルズームレンズが付いている高リゾリューション 5MP カラーカメラ
  • 1200µm の最も高い縦の範囲
  • 1µm のステップの 5Å のステップ高さの反復性
  • deskew と配列する台形訂正はアークの訂正および自動化されたステッチ新しいソフトウェア機能です

アプリケーション

AlphaStep D-600 スタイラス型彫機® 主要出願は下記のものを含んでいます:

  • LED
  • MEMS
  • 太陽
  • 大学
  • 医療機器
  • 材料の研究
  • 半導体
  • データ記憶
  • 政府の実験室

Last Update: 9. February 2015 12:46

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