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从 KLA-Tencor 的 AlphaStep® D-600 铁笔仿形铣床

KLA-Tencor 的阿尔法步骤 D-600 铁笔仿形铣床提供缝的用户以先进的高分辨率第 2 和 3D 描出,配置文件,第 2 个重点和几个其他功能在一个方便,用户友好平台。

D-600 铁笔仿形铣床包括一个 200mm 动力化的阶段,与行动和一种先进的光学杠杆传感器技术的 150mm x 178mm X - Y 的范围。 它也包括先进的光学和被改进的视频控制灵活的范例形象化的。

新颖的排序的软件带有手工 deskew 对准线,使用户编程 1000 个地点。

D-600 铁笔仿形铣床可能评定在第 2 和 3D 的许多应用,从毫微米到毫米步骤,软的材料,高分辨率坎坷和薄膜重点,从而使它最多才多艺的铁笔仿形铣床可用在这个市场上。

关键功能

AlphaStep D-600 铁笔仿形铣床的® 主要功能包括:

  • 直观用户接口
  • 在 0.03 的低强制评定对 15mg
  • 与 4x 数字式缩放的高分辨率 5MP 彩色摄影机
  • 在 1200µm 的最高的垂直的范围
  • 步骤 5Å 的高度反复性在 1µm 步骤的
  • 主要更正,排序与 deskew,弧更正和自动化的缝是新的软件特点

应用

AlphaStep D-600 铁笔仿形铣床的® 主要应用包括:

  • LED
  • MEMS
  • 太阳
  • 大学
  • 医疗设备
  • 材料研究
  • 半导体
  • 数据存储
  • 政府实验室

Last Update: 9. February 2015 12:45

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