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Die Auswerteprogramm-Oberflächen-Maß-Anlage des Stift-P-7 von KLA-Tencor

Die Auswerteprogramm-Oberflächen-Maß-Anlage des Stift-P-7 von KLA-Tencor

KLA-Tencors P-7 Stiftauswerteprogrammoberflächen-Maßanlage stellt ausgezeichnete Maßwiederholbarkeit für konsequente Maßleistung zur Verfügung. Sie hat 150mm Scan-Längenstandard, der lange Scan-Fähigkeit ohne den Bedarf am Nähen zur Verfügung stellen kann.

Der Stift P-7 wird versehen mit dem UltraLite®-Fühler, der dynamische Kraftregelung, außergewöhnliche Linearitäten und die hohe vertikale Auflösung umfaßt, dadurch er herstellt er es einen idealen Fühler für eine Oberflächenmaßanlage.

Das Auswerteprogramm des Stiftes P-7 ist eine der einfachsten auf dem Markt zu verwenden Einheiten, und seine Merkmale werden konstruiert, um R&D, Universität und Produktionsumgebungen zu entsprechen.

Hauptmerkmale

Die Hauptmerkmale des Auswerteprogramms des Stiftes P-7 umfassen:

  • Oberflächenmaßanlage mit Operations- und Produktivitätspaket zum Zeigen und Klicken
  • Überlegene Maßwiederholbarkeit
  • Zuverlässig
  • Leicht anwendbar

Anwendungen

Die Hauptanwendungen des Auswerteprogramms des Stiftes P-7 umfassen:

  • Dünnfilmschritthöhenmessungen
  • Dickfilmschritthöhenmessungen
  • Foto widerstehen,/weich Filme
  • Geätzte Grabentiefe
  • Flachheit oder Biegung
  • Defektzusammenfassung und Defektanalyse
  • Oberflächenbiegung und Formular
  • 2D Druck von Dünnfilmen
  • Darstellung 3D von verschiedenen Oberflächen
  • Maßanalyse- und Oberflächenbeschaffenheit
  • Materialkennzeichnung für Oberflächenrauigkeit und Welligkeit.

Last Update: 9. February 2015 12:45

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