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KLA-Tencor에서 P-7 첨필 프로 파일러 표면 측정 시스템

KLA-Tencor의 P-7 첨필 프로 파일러 표면 측정 시스템은 일관되는 측정 성과를 우수한 측정 반복성을 제공합니다. 그것에는 바느질을 위한 필요 없이 긴 검사 기능을 제공할 수 있는 150mm 검사 길이 기준이 있습니다.

P-7 첨필은으로 동적인 군대 통제, 특별하은 선형성 및 지상 측정 시스템을 그로 인하여 그것에게 이상적인 센서를 만드는 높은 수직 해상력을 포함하는 UltraLite® 센서, 제공됩니다.

P-7 첨필 프로 파일러는 시장에 사용할 것이다 가장 쉬운 장치의 한개 이고, 그것의 특징은 연구 및 개발, 대학 및 생산 환경을 적응시키기 위하여 디자인됩니다.

주요 특징

P-7 첨필 프로 파일러의 주요 특징은 다음을 포함합니다:

  • 점 및 제동자 작동과 생산력 포장을 가진 지상 측정 시스템
  • 우량한 측정 반복성
  • 믿을 수 있는
  • 쉽게 적응할 수 있는

응용

P-7 첨필 프로 파일러의 주요 응용 프로그램은 다음을 포함합니다:

  • 박막 단계 고도 측정
  • 두꺼운 필름 단계 고도 측정
  • 사진은 저항하고/부드럽게 필름
  • 식각된 트렌치 깊이
  • 편평함 또는 곡율
  • 결점 검토와 결점 분석
  • 지상 곡율 및 양식
  • 박막의 제 2 긴장
  • 각종 표면의 3D 화상 진찰
  • 차원 해석 및 표면 짜임새
  • 표면 거칠기 및 waviness를 위한 물자 특성.

Last Update: 9. February 2015 12:46

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