Posted in | Profilometers

Profilometer P-6 från KLA Tencor

Profileren för nålen P-6 och ytbehandlar analyssystemerbjudanden en kombination av avancerade särdrag för processaa utveckling, och fabriks- kontrollera av vetenskaplig forskning, photovoltaic sol- fabriks-, datalagring, MEMS, opto-elektronik och andra industriella metrologyapplikationer. Nålen som P-6 profilerar och, ytbehandlar analyssystemet använder den talrika plattformen, och mätningsteknologier från KLAs-Tencors mest avancerad system för halvledareprofileren för ytbehandlar topografianalys - den programmerbara bildläsningen arrangerar, stojar low, och högkvalitativt, bildläsningar för kickupplösning long -- men i en mindre, mer ekonomisk design för substrates upp till 150mm.

Profileren för nålen P-6 och ytbehandlar analyssystemet är kapabel av att tilltala en lång räcka av mätningar och applikationer:

Applikationer

Profilera för nålen P-6 och 3D ytbehandlar analyssystemet är kapabla av att tilltala en lång räcka av mätningar och applikationer liksom:

  • Tunt filma
    Measure kliver höjder och ytbehandlar roughness efter tunt filmar avlagring.
  • Filma Tjockt kliver höjder
    Measure kliver höjder och ytbehandlar strukturerar på filmar tjockt, liksom försilvrar deg fodrar i produktion för photovoltaic cell.
  • Fotoet motstår/mjukt filmar
    Variabeln pressar, placerar kapacitensen avkänning, och utbytbara nålradier möjliggör ytbehandlar metrology av dessa mjukt filmar.
  • Etsat dikedjup
    den kombinerade alternativ för Under-Mikronen nålradien och angstrom-jämna höjdkänsligheten, gör möjlighet för dikedjupmetrology.
  • Materialkarakteriseringen för ytbehandlar roughness, och waviness kliver höjder
    Apexanalysprogramvara beräknar lätt mer, än 40 ytbehandlar parametrar, ytbehandlar däribland roughness och waviness. Beräkningar kan vara för 2D bildläsningar eller areal bildläsningar 3D.
  • Ytbehandla krökning och bilda
    Beräkna krökning från mätningen, eller konspirera krökning och bilda i 3D modellerar. Alternativ inkluderar offline-analys av data för att konspirera och analys som inte klipper in i produktivitet.
  • den 2D spänningen av tunt filmar
    att Mäta spänning av tunt filmar kan hjälpa att optimera bearbetar, förhindrar att knäcka och adhesionproblem.
  • Dimensionell analys och ytbehandlar texturerar
    Huruvida är den sluttar och flatness, eller waviness och roughness i 2D eller område och volym, maximal räkningsfördelning och uthärdaförhållanden i 3D, P-6 erbjuder versatility och nytto-.
  • att avbilda 3D av olikt ytbehandlar
    Apexprogramvara ger avancerat avbilda 3D av något mätt område.
  • Flatness eller krökning
    Se och kvantifiera flatness, och krökning av mätt fodrar eller områden.
  • Defect granskar och hoppar av analys
    Avancerad funktionsduglighet avkänner särdrag, genom att inkorporera som är användbardefinierat, modellerar. En Gång avkända även lilla särdrag kan lokaliseras, och centrerat i centrera av bildläsningen och att optimera hoppa av granskar och analys

Last Update: 31. January 2012 23:57

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment