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P-6 从 KLA Tencor 的轮廓测定器

P-6 铁笔仿形铣床和表面分析系统提供先进特点科学研究,光致电压的太阳制造、数据存储、 MEMS、光电子学和其他行业计量学应用的组合工艺过程开发和制造控制的。 P-6 铁笔描出和表面分析系统为表面地势分析 - 可编程序的扫描阶段使用从 KLA-Tencor 的最先进的半导体仿形铣床系统,低噪声和优质,高分辨率长的扫描的许多平台和评定技术 -- 但是在基体的一个更小,更加经济的设计至 150mm。

P-6 铁笔仿形铣床和表面分析系统能够解决各种各样的评定和应用:

应用

P-6 铁笔描出和 3D 表面分析系统能够解决各种各样的评定和应用例如:

  • 薄膜
    评定步骤高度和地面粗糙度在薄膜证言以后。
  • 浓厚涂膜步骤高度
    评定步骤高度和表面结构在浓厚涂膜,例如银色粘贴线路在光电池生产。
  • 照片抵抗/软绵绵地影片
    可变的压,电容位置测知和可互换的铁笔半径启用这些软的影片表面计量学。
  • 被铭刻的沟槽深度
    亚显微铁笔半径选项和埃级的联合的高度区分,使沟槽深度计量学成为可能。
  • 地面粗糙度和波状步骤高度的材料描述特性
    尖顶分析软件容易地计算超过 40 个表面参数,包括地面粗糙度和波状。 计算可以是为第 2 扫描或 3D 地区扫描。
  • 表面曲度和表单
    计算从这个评定的曲度或者密谋曲度并且形成在 3D 设计。 不剪切成生产率的选项包括对数据的脱机分析为密谋和分析。
  • 薄膜第 2 个重点
    薄膜评定的重点可能帮助优选进程,防止裂化和黏附力问题。
  • 维分析和表面纹理
    它是否是倾斜和扁平或者波状和坎坷在第 2 或区和数量、峰顶计数配电器和轴承比例在 3D, P-6 提供通用性和实用程序。
  • 3D 多种表面想象
    尖顶软件提供被评定的任何区先进的 3D 想象。
  • 扁平或曲度
    参见并且定量被评定的线路或区扁平和曲度。
  • 背叛复核和缺陷分析
    先进的功能通过合并用户定义的设计检测功能。 一旦检测甚而小的功能可以和被集中位于扫描,优选缺陷的中心复核和分析

Last Update: 31. January 2012 23:50

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