Dünnfilm-Absetzungs-Anlage TFS 600 von Beneq

Das Beneq TFS 600 ist eine anwendungsspezifische ALD-Anlage, die für VakuumLine integrierte Einschalung der organischen Leuchtdiode (OLED) bestimmt ist. Es liefert überlegene ALD-Dünnschichtqualität beim Erfüllen des hohen Durchsatzes, der Robustheit und der Zuverlässigkeitsbedingungen einer industriellen Inline-Umgebung. Im TFS 600, werden diese Anforderungen durch optimierte Reaktionskammerauslegung, eine robuste und modulare Gestalt, nachgewiesene Steuer- und Operationsbauteile und integrierte Sicherheitsmerkmale angesprochen.

Leistungshöhepunkte

  • Überlegene Dünnschichtbeschichtungsqualität, ideal entsprochen für das Verlangen von OLED-Einschalungsanwendungen
  • Kurze Schleifenzeit, die Inline-Produktionsbedingungen des hohen Durchsatzes erfüllt
  • Völlig automatisierte belastende Operationen
  • Reinraum kompatibel
  • Alle Bauteile, die innerhalb des geprüften Feldes für Arbeitsschutz gelegen sind, folgert
  • Ergonomische Auslegung für die Maximierung von Leistungsfähigkeit des Substratflächenhandhabens, -vorläufers ändernd und Unterdruckkammerzugriff und Pflege
  • Kontrollsystem konstruierte für einfache Zeile Integration und kompatibles mit GEM-/SECSgerät-zuhauptrechner Nachrichtenübermittlung

Last Update: 11. January 2012 06:18

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