El Beneq TFS 600 es un sistema específico a la aplicación de ALD diseñado para la vacío-línea encapsulación orgánica integrada del diodo (OLED) electroluminoso. Proporciona a calidad superior de la fino-película de ALD mientras que cumple la altos producción, robustez, y requisitos de la confiabilidad de un ambiente en línea industrial. En el TFS 600, estos requisitos son dirigidos por diseño optimizado del compartimiento de la reacción, una estructura robusta y modular, los componentes probados del mando y de la operación y las características integradas del seguro.
Puntos culminantes del Funcionamiento
- Calidad Superior de la capa de la fino-película, adecuada idealmente para exigir aplicaciones de la encapsulación de OLED
- Duración de ciclo Corta que cumple requisitos en línea de producción de la alta producción
- Operaciones que cargan Completo automatizadas
- Recinto Limpio compatible
- Todos Los componentes establecidos dentro del bastidor ventilado para la seguridad y sanidad profesional razonan
- Diseño Ergonómico para maximizar la eficiencia del substrato que manipula, cambio del precursor y acceso y mantenimiento del compartimiento de vacío
- Sistema de Mando diseñado para la línea fácil integración y compatible con la comunicación del equipo-a-ordenador principal de GEM/SECS