Sistema de la Deposición de la Película Fina de TFS 600 de Beneq

El Beneq TFS 600 es un sistema específico a la aplicación de ALD diseñado para la vacío-línea encapsulación orgánica integrada del diodo (OLED) electroluminoso. Proporciona a calidad superior de la fino-película de ALD mientras que cumple la altos producción, robustez, y requisitos de la confiabilidad de un ambiente en línea industrial. En el TFS 600, estos requisitos son dirigidos por diseño optimizado del compartimiento de la reacción, una estructura robusta y modular, los componentes probados del mando y de la operación y las características integradas del seguro.

Puntos culminantes del Funcionamiento

  • Calidad Superior de la capa de la fino-película, adecuada idealmente para exigir aplicaciones de la encapsulación de OLED
  • Duración de ciclo Corta que cumple requisitos en línea de producción de la alta producción
  • Operaciones que cargan Completo automatizadas
  • Recinto Limpio compatible
  • Todos Los componentes establecidos dentro del bastidor ventilado para la seguridad y sanidad profesional razonan
  • Diseño Ergonómico para maximizar la eficiencia del substrato que manipula, cambio del precursor y acceso y mantenimiento del compartimiento de vacío
  • Sistema de Mando diseñado para la línea fácil integración y compatible con la comunicación del equipo-a-ordenador principal de GEM/SECS

Last Update: 11. January 2012 06:30

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